Интегриран CDM измервател на дебелина и площна плътност

Приложения

Процес на нанасяне на покритие: онлайн откриване на малки характеристики на електрода; често срещани малки характеристики на електрода: гладуване при празници (няма изтичане на токовия колектор, малка разлика в сивото с нормалната площ на покритието, неуспешна CCD идентификация), драскотина, контур на дебелината на изтъняваща област, откриване на дебелина по AT9 и др.

Изпратете ни имейл

Детайли за продукта

Етикети на продукти

Принципи на измерване

Принципи на измерване на повърхностната плътност

Метод за рентгенова/β-абсорбция

Принципи на измерване на дебелината

Корелация и лазерна триангулация

Технически характеристики на CDM тестването

Сценарий 1: На повърхността на електрода има празнота/недостиг с ширина 2 мм и единият ръб е по-дебел (синя линия, както е показано по-долу). Когато лъчевото петно е 40 мм, влиянието на измерената форма на оригиналните данни (оранжева линия, както е показано по-долу) изглежда очевидно по-малко.

Сценарий 2: данни за профила на зона с динамично изтъняване с ширина на данните 0,1 мм

Функции на софтуера

Технически параметри

Име	Индекси
Скорост на сканиране	0-18 м/мин
Честота на дискретизация	Повърхностна плътност: 200 kHz; дебелина: 50 kHz
Обхват на измерване на повърхностната плътност	Повърхностна плътност: 10~1000 g/m²; дебелина: 0~3000 μm;
Повторение на измерването точност	Повърхностна плътност: 16s интеграл: ±2σ: ≤±истинска стойност * 0,2‰ или ±0,06g/m²; ±3σ: ≤±истинска стойност * 0,25‰ или +0,08 г/м²; 4s интеграл: ±2σ: ≤±истинска стойност * 0,4‰ или ±0,12g/m²; ±3σ: ≤±истинска стойност * 0,6‰ или ±0,18 g/m²;Дебелина: 10 мм зона: ±3σ: ≤±0,3μm; 1 мм зона: ±3σ: ≤±0,5μm; Зона 0,1 мм: ±3σ: ≤±0,8μm;
Корелация R2	Повърхностна плътност >99%; дебелина >98%;
Лазерно петно	25*1400μm
Клас на радиационна защита	Национален стандарт за безопасност GB 18871-2002 (освобождаване от радиация)
Срок на експлоатация на радиоактивните вещества източник	β-лъчи: 10,7 години (полуживот на Kr85); рентгенови лъчи: > 5 години
Време за реакция на измерването	Повърхностна плътност < 1 м²; дебелина < 0,1 м²;
Обща мощност	<3 kW